・半導体洗浄装置の処理槽で薬液

　の加熱や保温をするために、循環

　ラインに設置して使用します。 　　　　　

・ヒ−タ−はハロゲンヒ−タ−を使用

　します。

・カンタルヒ−タ−に比べ処理槽への

　汚染原因を抑えることが出来ます。